¹ÝµµÃ¼ / ÇöóÁ
¡Ü ÇöóÁ ¶õ?
°ø¾÷ÀûÀ¸·Î ÀÌ¿ëÀÌ È°¹ßÇÑ ÇöóÁ´Â Àú¿Â ±Û·Î¿ì ¹æÀü ÇöóÁ·Î¼ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ ÇöóÁ ½Ä°¢(Plasma Etch) ¹× ÁõÂø(PECVD: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), ±Ý¼ÓÀ̳ª °íºÐÀÚÀÇ Ç¥¸éó¸®, ½Å¹°ÁúÀÇ ÇÕ¼º µî¿¡¼ ÀÌ¿ëµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç, °øÁ¤ÀÇ ¹Ì¼¼È, Àú¿ÂÈÀÇ Çʿ伺 ¶§¹®¿¡ ÇöóÁ °øÁ¤ÀÌ Á¾·¡ÀÇ °øÁ¤À» ´ëüÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, °æ¿ì¿¡ µû¶ó¼´Â ÇöóÁ¸¸ÀÌ Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹°ÁúÀ̳ª ȯ°æÀ» ÀÌ¿ëÇϱâ À§ÇÑ ÀÀ¿ëºÐ¾ß°¡ Á¡Á¡ ´õ È®´ëµÇ°í ÀÖ´Ù.
¡Ü ÇöóÁ ÀÀ¿ëºÐ¾ß
ÀÛ¼ºÀÏ : 2015-11-06
|